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論文

A New high energy-resolution soft-X-ray spectrometer for a transmission electron microscope

寺内正己*; 小池雅人

Microscopy and Microanalysis, 9(S02), p.894 - 895, 2003/08

https://doi.org/10.1017/S1431927603444474

特定したナノスケール領域から、物質の価電子帯状態密度分布を測定することを目的とした軟X線分光電子顕微鏡(TEM-XES装置)の開発を行っている。今回、回折格子から検出器までの距離がこれまでの約2倍(エネルギー分散が2倍)となる新たな不等間隔溝ラミナー型ホログラフィック回折格子をデザインし製作した。このことにより、1000eVで0.7eVのエネルギー分解能が期待できる。